| 摘要 |
【課題】製造の容易なビームスキャナを提供する。【解決手段】導波路２の周方向における第１部分１Ａでは、ビア４が貫通する１層の誘電体基板１とビア４が貫通しない２層の誘電体基板１が交互に積層されている。ビア４が貫通する各誘電体基板１には導体層３が形成される。この誘電体基板１における導体層３がない面に対向する、ビア４が貫通しない誘電体基板１の面には導体層３が形成される。導波路２の周方向における残りの部分である第２部分１Ｂでは、積層された誘電体基板１をビア４が貫通し、各誘電体基板１には導体層３が形成されている。【選択図】図２ |
