| 摘要 |
【課題】固体撮像装置においてノイズの発生を抑制するのに有利な技術を提供する。【解決手段】光電変換素子が配された基板と、光電変換素子の上に配された第１の開口部を有する第１の絶縁膜及び第１の絶縁膜中に配された配線層を含む第１の構造体と、第１の開口部にそれぞれ配された第１の部分と、第１の部分の上面及び第１の開口部以外の第１の構造体の上面を覆う第２の部分と、を含み、第１の部分と第２の部分とが同一の材料で連続的に形成された第１の絶縁体と、第１の開口部の上に配された第２の開口部を有する第２の絶縁膜及び第２の絶縁膜中に配された配線層を含む第２の構造体と、第２の開口部にそれぞれ配され第３の部分を含む第２の絶縁体と、を備え、第１の絶縁体の第２の部分の水素濃度が、第１の絶縁膜を構成する部分の水素濃度よりも高く、第１の部分の上面の面積が、第３の部分の下面の面積よりも大きい。【選択図】図１ |
