高周波超音波圧電素子、その製造方法、及びそれを含む高周波超音波プローブ

摘要

【課題】高精細な超音波画像を得ることを可能にする高周波数で送受可能な圧電素子と、その製造方法を提供する。【解決手段】下部電極１１を準備し、下部電極１１の上に、ゾルゲル溶液と圧電粉末とを含む複合体をスプレー法により塗布する。その後、塗布された複合体を焼結して圧電膜１２を形成する。圧電膜１２の上にマスク層１３を配設し、マスク層１３に圧電膜１２を露出する複数の開口部１４を形成する。次に、圧電膜１２及びマスク層１３の上に上部電極１５を形成し、その後、マスク層１３を除去することにより、開口部１４内の圧電膜１２の上にのみ上部電極１５を残存させる。【選択図】図１