| 摘要 |
【課題】表面に吸着層が備えられた複数の基板を、シートを介在させることなく梱包容器に積載した場合であっても、梱包容器から基板を１枚ずつ容易に取り出すことが可能な吸着層付き基板の梱包方法及び吸着層付き基板の梱包装置を提供する。【解決手段】梱包装置２２は、ロールブラシ３０によって吸着層４の表面に、溝状の疵を付与する。これにより、吸着層４の吸着面積が減少するので、隣接する２枚の補強板３同士の吸着力を低下させることができる。また、梱包容器１０に搭載した補強板３の吸着層４を、ロールブラシ３０によって疵を付与する。これにより、疵を付与するためのスペースを省スペース化することができる。【選択図】図５ |
