| 摘要 |
【課題】上層の自己組織化膜とインターミキシング（層混合）を引き起こさず、自己組織化膜に垂直パターンを形成する自己組織化膜の下層膜を提供する。【解決手段】ポリマーの全単位構造あたり多環芳香族ビニル化合物の単位構造を０．２モル％以上有するポリマーを含むことを特徴とする自己組織化膜の下層膜形成組成物。前記ポリマーは、芳香族ビニル化合物の単位構造をポリマーの全単位構造あたり２０モル％以上有し、且つ芳香族ビニル化合物の全単位構造あたり多環芳香族ビニル化合物の単位構造が１モル％以上有するポリマーである。前記芳香族ビニル化合物は、各々置換されていてもよいビニルナフタレン、アセナフチレン又はビニルカルバゾールを含み、前記多環芳香族ビニル化合物はビニルナフタレン、アセナフチレン又はビニルカルバゾールである。また前記芳香族ビニル化合物は置換されていてもよいスチレンと各々置換されていてもよいビニルナフタレン、アセナフチレン又はビニルカルバゾールを含み、多環芳香族ビニル化合物がビニルナフタレン、アセナフチレン又はビニルカルバゾールである。【選択図】 図１ |
