| 摘要 |
【課題】電子部品の電気特性検査の際に、検査プローブの滑りを抑制できる検査用配線基板及び検査用配線基板の製造方法を提供すること。【解決手段】本発明に係る検査用配線基板は、絶縁層及び導体層がそれぞれ１層以上積層された積層構造体を有し、電子部品の電気特性検査の際に用いられる検査用配線基板であって、積層構造体の主面上に、電気特性検査の際に検査プローブと当接する複数の電極パッドとなる複数のパッド部がアレイ状に配置されたパッド群と、パッド群の周囲に配置されたダミー金属層とを備え、パッド群を構成する複数のパッド部は、検査プローブと当接する側の主面に窪みを有することを特徴とする。【選択図】図１ |
