光偏向装置、画像形成装置、画像表示装置、物体装置、及び光偏向装置の調整方法

摘要

【課題】 可動部の一軸周りの揺動速度の均一性を安定して高めることができる光偏向装置を提供する。【解決手段】 光偏向装置は、反射面を有するミラーを含む可動部と、該可動部をＸ軸周りに揺動可能に支持する、複数の梁が蛇行するように連続する蛇行部を含む支持部と、複数の梁に個別に設けられた複数の圧電部材と、を備え、隣り合う２つの梁に個別に設けられた２つの圧電部材に所定の波形の２つの駆動信号が並行して個別に入力され、可動部及び支持部を含む系が有する複数の機械的な共振周波数のうち所定の共振周波数が、２つの駆動信号の一方の駆動信号の高周波成分の信号強度が極小となる一の周波数（ヌル周波数ｆｎａ）と、２つの駆動信号の他方の駆動信号の高周波成分の信号強度が極小となる他の周波数（ヌル周波数ｆｎｂ）に挟まれるように、２つの駆動信号それぞれの１周期における立ち上がり時間と立ち下がり時間の比率が設定されている。【選択図】図１８