| 摘要 |
【課題】センサごとの補正データがなくても広い動作温度範囲において高精度の測定ができる濃度センサを提供する。【解決手段】測定対象物質１７中の赤外線の透過度合いを検出することにより測定対象物質中の特定の成分濃度を検出する濃度センサにおいて、検出用赤外線センサと補償用赤外線センサの特性バラつきによる濃度検出誤差を改善するため、第１の光学フィルタセット３と、第１の光学フィルタセットと対向する第２の光学フィルタセット４と第１、第２の赤外線光源１，２と赤外線量を検知する第１、第２の赤外線センサ９，１０とを有し、第１の空間１３に測定対象物質を配置し、第１の赤外線光源のみを点灯したときの第１の赤外線センサと第２の赤外線センサのそれぞれの信号値と第２の赤外線光源のみを点灯したときの第１の赤外線センサと第２の赤外線センサのそれぞれの信号値とを入力して成分濃度の値を出力する手段を有する。【選択図】図１ |
