| 摘要 |
【課題】酸化イリジウムと酸化ケイ素とを含む酸化イリジウムの単体と同等の活性を有する複合材料からなる薄膜を製造するために好適な原料物質、及び、薄膜製造方法の提供。【解決手段】有機イリジウム化合物からなり、化学蒸着法によりイリジウム及びケイ素を含む薄膜を製造するための化学蒸着用原料であって、前記有機イリジウム化合物は、イリジウムに、シクロペンタジエン又はその誘導体及びトリアルキルシリル基が配位した次式で示される有機イリジウム化合物である化学蒸着用原料。（Ｒ１〜Ｒ５は各々独立にＨ又はＣ１〜３のアルキル；Ｒ６〜Ｒ１１は各々独立にＣ１〜６のアルキル）【選択図】図１ |
