| 摘要 |
카세트에 대하여 기판을 적절히 수용하는 것이다. 실시예에 따른 기판 반송 장치는, 기판 반송부와 검출부와 제어 장치를 구비한다. 기판 반송부는, 복수 매의 기판을 수용 가능한 카세트와의 사이에서 기판의 전달을 행한다. 검출부는 카세트에 수용된 기판을 검출한다. 제어 장치는 기판 반송부를 제어한다. 또한, 제어 장치는 반송 제어부와 판정부와 보정부를 구비한다. 반송 제어부는, 미리 결정된 목표 수용 위치에 대하여 기판을 수용하도록 기판 반송부를 제어한다. 판정부는, 카세트에 수용된 기판을 검출부에 의해 검출한 후, 검출부의 검출 결과에 기초하여 이러한 기판의 실제의 수용 위치를 판정한다. 보정부는, 기판의 실제의 수용 위치와 목표 수용 위치와의 차이에 기초하여, 다른 기판의 수용 위치로서 미리 결정된 목표 수용 위치를 보정한다. |
