发明名称 電磁波加熱装置および電磁波加熱方法
摘要 加熱対象物に電磁波を照射して加熱する電磁波加熱装置(100)は、加熱対象を収容する容器(10)と、容器(10)内の加熱対象に電磁波を照射する発振周波数が可変の電磁波照射部(30)と、電磁波による加熱を制御する制御部(50)とを具備し、制御部(50)は、照射する電磁波の周波数を変化させた際の加熱対象物の複素比誘電率の変化を表す複素比誘電率特性を複素平面に描き、さらに、同じ複素平面に無反射曲線を描き、複素比誘電率特性と、無反射曲線との交点から導かれる値に基づいて、電磁波の周波数と加熱対象物の厚みを決定し、それらの値に基づいて電磁波加熱を行う。
申请公布号 JPWO2014103633(A1) 申请公布日期 2017.01.12
申请号 JP20140554272 申请日期 2013.12.04
申请人 東京エレクトロン株式会社 发明人 清水 正裕;渡部 佳優;白神 健太郎
分类号 H05B6/66;H01L21/265;H01L21/428 主分类号 H05B6/66
代理机构 代理人
主权项
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