| 摘要 |
【課題】製造を容易にし、放電領域の断面やガス層流の厚さを調整可能とする。【解決手段】主面の幅の部に長手方向に伸びた中空部１１を有した直方体形状の樹脂製の第１基台１０と、中空部に充填されて表面が主面と同一面となる直方体形状の耐熱絶縁材料の第１充填板１２と、第１基台の上面及び第１充填板の上面に、第１基台の第１方向に平行な両辺に沿って第１スリット状間隙を設けて配設された耐熱絶縁材料の一対の第１放電領域区画板１３ａ、１３ｂと、スペーサ上に、第２スリット状間隙を設けて配設され、一対の第２放電領域区画板１７ａ、１７ｂと、第１基台と同一構成の第２基台２０と第２充填板２２を有する。第１基台及び第２基台の第１方向の両端に設けられ、ガスの放電を生起させてプラズマを発生させる電極を第１方向に伸びた貫通孔により保持した一対の電極保持部材３ａ、３ｂと、面状間隙にガスを供給するガス供給部材と、を有する。【選択図】図１ |
