測定方法及び測定装置

摘要

【課題】運動繰り返し誤差を排除しつつ高精度に真円度を測定できる測定方法及び測定装置を提供する。【解決手段】周縁と被測定面との間にギャップが生じるようにして、試料に対して補助部材を配置し、補助部材の周縁と試料の被測定面とのギャップに関わる第１のデータと試料と補助部材とを軸線回りに角度φだけ相対回動させた第２のデータとに基づいて、運動繰り返し誤差を排除しつつ差分法により試料の真円形状を精度良く求める。【選択図】図３