基板の製造方法及び光学装置の製造方法並びに基板製造装置

摘要

【課題】本発明は、長尺基板と接合対象との熱圧着の終了後に長尺基板の板厚方向の反りの矯正を解除する場合に比べて、長尺基板の短手方向の反りが抑制される方法の提供を目的とする。【解決手段】基板の製造方法は、表面に端子が形成された長尺基板の板厚方向の反りを矯正する工程と、該端子に異方性の導電材料を付着する工程と、該導電材料が付着された該端子と接合対象とを向き合せ、該長尺基板と接合対象とを熱圧着する工程であって、該熱圧着の開始後かつ終了前に該矯正を解除する工程と、を含む。【選択図】図１０