| 摘要 |
【課題】高精度かつ短時間に不具合の許否を判定する方法を低コストに提供する。【解決手段】本発明に係る不具合３の許否判定方法は、不具合３を囲むように枠状体４をワーク表面２に取付ける取付け工程Ｓ２と、枠状体４の全体が映り込むようにワーク表面２を撮影装置１１で撮影する撮影工程Ｓ３と、撮影で得た画像中の枠状体４で囲まれた領域２ａを解析装置１２で解析することで、不具合３の寸法を算出する寸法算出工程Ｓ４、及び寸法算出工程Ｓ４で得た不具合３の寸法に基づき、不具合３が許容され得るものであるか否かを判定する許否判定工程Ｓ５とを具備する。【選択図】図１ |
