保持装置、露光装置、及びデバイスの製造方法

摘要

【課題】マスクに形成されたパターンを精確に基板に露光するための保持装置を提供する。【解決手段】物体の一部に接する第１部材、ベースに少なくとも一部が固定された第２部材、及び第１部材と第２部材とを接続する接続部材を含む保持部と、少なくとも物体を保持した第１部材の姿勢が変化するように、保持部を駆動する駆動部とを備え、前記接続部材を介して前記第１部材と前記第２部材との間の相対的な位置関係が変化する。【選択図】図７Ａ