发明名称 ワーク浮上搬送装置
摘要 【課題】所定位置において搬送中のワーク先端やワーク後端が吸引口と対向した際の搬送路面とワークとの間の圧力変化に起因するワークの浮上量の急激な変化を抑制するワーク浮上搬送装置を提供すること。【解決手段】搬送路面110が、この搬送路面110とワークWとの間に圧縮空気を給気する複数の給気口111と搬送路面110とワークWとの間から空気を吸引する複数の吸引口113とを備え、給気口111が、給気口111に給気圧を発生させる給気圧発生手段160と給気流路170を介して連通され、吸引口113が、吸引口113に吸引圧を発生させる吸引圧発生手段120と吸引流路130を介して連通され、吸引流路130に大気中から空気を供給する吸引側大気開放口140が、吸引流路130と連通して設置されているワーク浮上搬送装置100。【選択図】図3
申请公布号 JP2017011014(A) 申请公布日期 2017.01.12
申请号 JP20150122712 申请日期 2015.06.18
申请人 オイレス工業株式会社 发明人 金井 仁志;伊藤 彰彦;佐藤 光;角田 耕一
分类号 H01L21/677;B65G49/06 主分类号 H01L21/677
代理机构 代理人
主权项
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