| 摘要 |
【課題】焼成後のセラミックヒータの中間成形体の加工の際にクラックが生じることを抑制する。【解決手段】基体と、２つのリード部及び２つのリード部の一方の端部同士を接続する連結部を含む導電部と、を有するセラミックヒータの製造方法は、（ａ）２つの焼成前リード部と焼成前連結部と導電端部とを備える導電部の中間成形体の作成工程と、（ｂ）セラミックヒータの中間成形体の作製工程と、（ｃ）セラミックヒータの中間成形体の焼成工程と、（ｄ）焼成後のセラミックヒータの中間成形体を加工してセラミックヒータを作製する工程と、を備え、工程（ｂ）は、工程（ｃ）後のセラミックヒータの中間成形体のうち、導電端部の２つのリード部と接続する接続部位近傍における導電端部の２つの断面部間の最小距離が０．７ｍｍ以下となるようにセラミックヒータの中間成形体を作製してなる。【選択図】図２ |
