| 摘要 |
【課題】装置の大型化や、制御の複雑化を防止できる搬送装置を提供する。【解決手段】搬送装置は、一方の面側が保持面に保持された被搬送物の他方の面側を吸着保持して当該被搬送物を搬送する搬送装置において、被搬送物の他方の面側に面接触する当接面を有する保持手段と、吸引口に吸引力を付与する保持力付与手段と、保持手段を移送する移送手段とを備え、保持手段は、当接面を形成する弾性変形可能な当接部材を備え、当該当接面は、部が外縁部よりも被搬送物から離間した形状に設けられ、被搬送物と保持面との間の離間空間を当該被搬送物における部から外縁部にかけて徐々に拡大させ、当接面で吸引した被搬送物を保持面から浮上させる。【選択図】図１ |
