| 摘要 |
【課題】チャックテーブルの保持面の高さを誤差なく測定し、かつ装置費用を安く抑える。【解決手段】加工装置１Ａに、チャックテーブル５１と、接触部材４３を備えたスピンドルユニット４と、スピンドルユニット４を昇降させる昇降手段２５と、スピンドルユニット４の位置を認識する位置認識手段７と、複数のチャックテーブルが配設され接触部材４３との接触位置にチャックテーブル５１を位置付けるターンテーブル６と、チャックテーブル５１の保持面５１０ａの高さを測定する測定手段９とを備え、測定手段９は、接触部材４３を保持面５１０ａに接触させた際の荷重を測定する荷重測定部９０と、測定した荷重が予め設定される閾値より小さくなったときのスピンドルユニット４の位置を記憶する記憶部９１とを備え、チャックテーブル毎に接触部材４３を保持面５１０ａに接触させ荷重を測定してチャックテーブル毎の保持面の高さを測定するものとした。【選択図】図２ |
