发明名称 試料保持具
摘要 【課題】 ウェハに均一に成膜・エッチングできる試料保持具を提供する。【解決手段】 試料保持具は、一方の主面に試料保持面を有するセラミック体と、該セラミック体の内部における前記試料保持面に平行な面または前記セラミック体の他方の主面に設けられた発熱抵抗体とを備えており、該発熱抵抗体の配線パターンは、前記セラミック体の中心部に中心を有する仮想円の円周上に、で折り返した二重の方形渦巻状の形状を有する複数の渦巻状部が並置されている。【選択図】 図2
申请公布号 JP2017010884(A) 申请公布日期 2017.01.12
申请号 JP20150127852 申请日期 2015.06.25
申请人 京セラ株式会社 发明人 口町 和一
分类号 H05B3/74;H05B3/76 主分类号 H05B3/74
代理机构 代理人
主权项
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