| 摘要 |
【課題】パターン幅やパターン間隔が１０μｍ以下の微細なパターンであっても、現像後の開口パターンを十分に精度よく形成することが可能な感光性樹脂フィルムの露光方法を提供する。【解決手段】表面に保護フィルムが貼着された感光性樹脂フィルム２を基板１に積層し、次に感光性樹脂フィルム２の表面から保護フィルムを剥離除去し、次に感光性樹脂フィルム２の表面が曝される雰囲気における酸素濃度を空気中の酸素濃度の１０％以下にし、その雰囲気中における酸素濃度を保ったままで、感光性樹脂フィルム２の表面にレーザ光Ｌを照射して露光する感光性樹脂フィルム２の露光方法である。【選択図】図２ |
