露光装置及びデバイス製造方法

摘要

【課題】光源に用いるショートアーク型高圧水銀ランプの交換作業を円滑に簡易化可能とするランプ及び、露光装置を提供すること。【解決手段】ケーブルの無いショートアーク型高圧水銀ランプと、当該ランプに給電する為のバネ状接触端子をランプもしくは装置側に有することを特徴とする。【選択図】図１