发明名称 分光器及び顕微分光システム
摘要 波長分解能や取得波長帯域を変更しても常に受光器におけるより良い感度の受光領域で信号光を取得することができる分光器及びこの分光器を有する顕微分光システムを提供する。顕微分光システム1に用いられる分光器40は、信号光を分光する分光素子42と、分光素子42で分光された分光光を集光する集光光学系43と、分光光を受光する受光器46と、を有し、受光器46は、分光光を検出する感度が互いに異なる波長特性を有する複数の領域を有する。
申请公布号 JPWO2014103793(A1) 申请公布日期 2017.01.12
申请号 JP20140554338 申请日期 2013.12.17
申请人 株式会社ニコン 发明人 左高 良一;大澤 日佐雄
分类号 G01J3/36;G01J3/433;G01N21/27;G01N21/64;G02B21/00 主分类号 G01J3/36
代理机构 代理人
主权项
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