| 摘要 |
亜鉛原子と、酸素原子と、以下に定義されるＭとを含む酸化亜鉛系透明導電膜であって、該膜を構成する全原子数に対して、亜鉛原子数と、酸素原子数と、チタン原子数と、ガリウム原子数と、アルミニウム原子数の合計が９９％以上であり、該膜に含まれる亜鉛原子数、チタン原子数、ガリウム原子数及びアルミニウム原子数の合計原子数に対して、チタン原子数、ガリウム原子数及びアルミニウム原子数の合計原子数の割合（（チタン原子数＋ガリウム原子数＋アルミニウム原子数）／（亜鉛原子数＋チタン原子数＋ガリウム原子数＋アルミニウム原子数）×１００）が１．３％以上２．０％以下であり、該膜に含まれるチタン原子数、ガリウム原子数およびアルミニウム原子数の合計原子数に対してチタン原子数が少なくとも５０％であり、キャリア電子濃度が３．６０×１０20ｃｍ-3以下であり、移動度が４３.０ｃｍ2／Ｖｓ以上であり、および比抵抗が５．００×１０-4Ω・ｃｍ以下である酸化亜鉛系透明導電膜。Ｍ：チタン原子、チタン原子及びガリウム原子、チタン原子及びアルミニウム原子、または、チタン原子及びガリウム原子及びアルミニウム原子 |
