发明名称 Vorrichtung zur paarweisen Aufnahme von Substraten
摘要 Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung, insbesondere Plasmaboot, zur Aufnahme von plattenförmigen Substraten, insbesondere von Solarzellen, zur Behandlung derselben in einer Behandlungseinrichtung, wobei jedes Substrat eine Vorderseite und eine der Vorderseite gegenüberliegenden Rückseite aufweist, umfassend mindestens eine Aufnahmevorrichtung zur Aufnahme und Fixierung der Substrate, wobei die Aufnahmevorrichtung mindestens zwei, insbesondere eine Vielzahl von, Aufnahmebereichen aufweist, wobei in jedem Aufnahmebereich mindestens zwei Substrate angeordnet oder anordnenbar sind, wobei eine Rückseite eines ersten Substrats direkt mit eine Rückseite eines zweiten Substrats in Anlage bringbar ist oder steht sowie eine Verwendung einer solchen Vorrichtung
申请公布号 DE102015111144(A1) 申请公布日期 2017.01.12
申请号 DE201510111144 申请日期 2015.07.09
申请人 Hanwha Q.CELLS GmbH 发明人 Duncker, Klaus
分类号 H01L21/673;C23C16/458 主分类号 H01L21/673
代理机构 代理人
主权项
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