发明名称 调整单晶棒晶向的方法及测量方法
摘要 本发明公开了一种调整单晶棒晶向的方法;包括如下的步骤:1)通过晶体的种类确定标准晶向;2)确定单晶Y轴方向和单晶X轴方向的晶向;3)将单晶X轴方向与垫条X轴方向平行,并进行单晶棒与垫条粘结;4)根据单晶X轴方向与标准晶向的偏差值进行调整。
申请公布号 CN104985709B 申请公布日期 2017.01.11
申请号 CN201510330222.4 申请日期 2015.06.16
申请人 浙江海纳半导体有限公司 发明人 陈建峰;饶伟星;高海军;吴雄杰
分类号 B28D7/00(2006.01)I;B28D5/04(2006.01)I 主分类号 B28D7/00(2006.01)I
代理机构 杭州中成专利事务所有限公司 33212 代理人 金祺
主权项 一种调整单晶棒晶向的方法;其特征是:包括如下的步骤:1)通过晶体的种类确定标准晶向;2)确定单晶Y轴方向和单晶X轴方向的晶向:测量单晶端面符合标准要求的晶向方向作为单晶Y轴方向;再测量单晶X轴方向的晶向;3)将单晶X轴方向与垫条X轴方向平行,并进行单晶棒与垫条粘结;4)根据单晶X轴方向与标准晶向的偏差值进行调整。
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