发明名称 |
调整单晶棒晶向的方法及测量方法 |
摘要 |
本发明公开了一种调整单晶棒晶向的方法;包括如下的步骤:1)通过晶体的种类确定标准晶向;2)确定单晶Y轴方向和单晶X轴方向的晶向;3)将单晶X轴方向与垫条X轴方向平行,并进行单晶棒与垫条粘结;4)根据单晶X轴方向与标准晶向的偏差值进行调整。 |
申请公布号 |
CN104985709B |
申请公布日期 |
2017.01.11 |
申请号 |
CN201510330222.4 |
申请日期 |
2015.06.16 |
申请人 |
浙江海纳半导体有限公司 |
发明人 |
陈建峰;饶伟星;高海军;吴雄杰 |
分类号 |
B28D7/00(2006.01)I;B28D5/04(2006.01)I |
主分类号 |
B28D7/00(2006.01)I |
代理机构 |
杭州中成专利事务所有限公司 33212 |
代理人 |
金祺 |
主权项 |
一种调整单晶棒晶向的方法;其特征是:包括如下的步骤:1)通过晶体的种类确定标准晶向;2)确定单晶Y轴方向和单晶X轴方向的晶向:测量单晶端面符合标准要求的晶向方向作为单晶Y轴方向;再测量单晶X轴方向的晶向;3)将单晶X轴方向与垫条X轴方向平行,并进行单晶棒与垫条粘结;4)根据单晶X轴方向与标准晶向的偏差值进行调整。 |
地址 |
310052 浙江省宁波市滨江区信诚路99号 |