基于平行极板电容的接近觉传感器及其检测方法

摘要

本发明公开了一种基于平行极板电容的接近觉传感器，形状、大小相同的表层衬底、中间层和底层衬底自上而下成层叠结构，表层衬底上表面设置驱动电极、感应电极和保护环，驱动电极设于表层衬底上表面的中心位置，驱动电极的外围一周耦合有保护环，保护环的外围耦合有两个或两个以上结构相同的感应电极，感应电极在保护环的外围对称分布，每个感应电极分别与驱动电极生成相应的耦合电容；中间层作为GND接地层，保护环上打有第一小圆孔，表层衬底上打有第二小圆孔，第一小圆孔与第二小圆孔的位置完全重合。灵敏度高，精确度高，解决了现有技术中接近觉传感器不能同时检测待测物体接近距离与方向，不能判断待测物体属性的问题。

主权项

一种基于平行极板电容的接近觉传感器，其特征在于，由表层衬底(1)、驱动电极(2)、感应电极(3)、保护环(4)、底层衬底(5)和中间层(7)组成；表层衬底(1)、底层衬底(5)和中间层(7)的形状、大小相同，表层衬底(1)、中间层(7)和底层衬底(5)自上而下成层叠结构，表层衬底(1)的上表面设置有驱动电极(2)、感应电极(3)和保护环(4)，驱动电极(2)设于表层衬底(1)上表面的中心位置，在驱动电极(2)的外围一周耦合有保护环(4)，在保护环(4)的外围耦合有两个或两个以上结构相同的感应电极(3)，感应电极(3)在保护环(4)的外围对称分布，每个感应电极(3)分别与驱动电极(2)生成相应的耦合电容；中间层(7)作为GND接地层，保护环(4)上打有第一小圆孔(6)，表层衬底(1)上打有第二小圆孔(8)，第一小圆孔(6)与第二小圆孔(8)的位置完全重合，便于保护环(4)接于GND。