| 摘要 |
나노 필러 또는 마이카 필러가 첨가된 감광성 수지 필름을 이용하여 내몰드 압력성이 우수하고, 저배화ㆍ소형화된 압전 부품을 저비용으로 제조한다. 본 발명은, 압전 기판(2)과, 그 압전 기판(2)의 주요면에 형성된 빗살형 전극(3)과, 그 빗살형 전극(3)에 인접하여 설치된 소자 배선부를 갖는 배선 전극을 포함하는 압전 소자와, 상기 소자 배선부의 상면에 형성된 절연층(8)과, 그 절연층(8)의 상면에 형성된 재배선층(9)과, 그 재배선층(9)의 상면에서 상기 빗살형 전극(3)을 제외하고, 그 전체면을 덮는 무기 재료로 이루어진 보호막층과, 그 보호막층 상에 나노 필러를 첨가한 감광성 수지 필름을 적층하여 형성한 외측 둘레벽부(4)와, 그 외측 둘레벽부(4)의 개구 선단부에 나노 필러 또는 마이카 필러를 첨가한 감광성 수지 필름을 적층하여 형성한 천정부(5)와, 그 외측 둘레벽부(4) 및 천정부(5)를 관통하여 형성한 전극 기둥(6)을 포함하고, 여기서, 나노 필러를 첨가한 상기 감광성 수지 필름은, 평균 입자 직경이 1.0 nm 이하인 무기 재료로 이루어진 나노 필러가 첨가되고, 탄성률이 3.0 GPa 이상인 감광성 수지로 이루어진 것을 특징으로 하는 압전 부품 및 그 제조 방법에 관한 것이다. |
