具有自测试模式的MEMS传感器装置

摘要

一种微机电系统(MEMS)装置包括：微机电系统(MEMS)传感器；检测器电路；控制器电路，该控制器电路与该MEMS传感器耦合；第一连接件，该第一连接件布置在该MEMS传感器的第一输出与该检测器电路的第一输入之间；第二连接件，该第二连接件布置在该MEMS传感器的第二输出与该检测器电路的第二输入之间；以及第一开关，该第一开关布置在该第一连接件中。该控制器电路被配置成在第一测试模式期间断开该第一开关，以便连接该检测器电路的仅单个输入与该MEMS传感器的输出。可以提供另一开关以将该MEMS传感器的两个输出连接到该检测器电路的单个输入。

主权项

一种微机电系统(MEMS)装置，其特征在于，包括MEMS传感器；检测器电路；控制器电路，所述控制器电路与所述MEMS传感器耦合；第一连接件，所述第一连接件耦合到所述MEMS传感器的第一输出和所述检测器电路的第一输入；第二连接件，所述第二连接件耦合到所述MEMS传感器的第二输出和所述检测器电路的第二输入；以及第一开关，所述第一开关布置在所述第一连接件中，并且被配置成由所述控制器电路控制，其中所述控制器电路被配置成在第一测试模式期间断开所述第一开关，以便连接所述检测器电路的仅单个输入与所述MEMS传感器的输出。