| 发明名称 | 一种CMP混合指示剂粉剂及其制备方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种CMP混合指示剂粉剂及其制备方法，包括以下步骤：⑴称取钙黄绿素、甲基百里香酚兰、酚酞，干燥脱水的填充剂，还原剂；⑵上述物料粉碎、磨细、磨匀；⑶称取上述混合粉剂装入铝箔袋，热合封袋。本发明在CMP混合指示剂中加入了酸碱指示剂甲基百里香酚兰和酚酞，在滴定的PH值(PH≥12.5)条件下，显示混合指示剂的颜色，补托钙黄绿素的颜色，使终点敏锐，提高了滴定的准确度。 | ||
| 申请公布号 | CN106323970A | 申请公布日期 | 2017.01.11 |
| 申请号 | CN201510352721.3 | 申请日期 | 2015.06.23 |
| 申请人 | 天津市光复科技发展有限公司 | 发明人 | 杨万龙;张勇 |
| 分类号 | G01N21/79(2006.01)I | 主分类号 | G01N21/79(2006.01)I |
| 代理机构 | 天津盛理知识产权代理有限公司 12209 | 代理人 | 赵瑶瑶 |
| 主权项 | 一种CMP混合指示剂粉剂，其特征在于：成分及重量分数如下：<img file="FDA0000743358500000011.GIF" wi="638" he="486" /> | ||
| 地址 | 300084 天津市武清区曹子里乡花城中路29号 | ||