发明名称 一种基板剥离装置
摘要 本实用新型提供了一种基板剥离装置,其包括用于放置并吸附承载基板的吸附平台,在所述承载基板的上方设有可移动的激光头和吸头,所述激光头用于融化超薄或柔性基板与承载基板之间的粘结层,所述吸头用于吸附粘接层融化后的所述超薄或柔性基板。本实用新型能够有效提高超薄或柔性基板和承载基板的剥离成功率。
申请公布号 CN205880416U 申请公布日期 2017.01.11
申请号 CN201620671956.9 申请日期 2016.06.29
申请人 京东方科技集团股份有限公司 发明人 洪瑞
分类号 G02F1/13(2006.01)I;G02F1/1333(2006.01)I 主分类号 G02F1/13(2006.01)I
代理机构 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 代理人 李相雨
主权项 一种基板剥离装置,其特征在于,包括用于放置并吸附承载基板的吸附平台,在所述承载基板的上方设有可移动的激光头和吸头,所述激光头用于融化超薄或柔性基板与承载基板之间的粘结层,所述吸头用于吸附粘接层融化后的所述超薄或柔性基板。
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