曝光装置以及制造物品的方法

摘要

本发明提供一种曝光装置以及制造物品的方法。该曝光装置对基板上的多个拍摄区域中的每一个进行曝光，包括：基板台，被配置为能够在保持所述基板的同时移动；以及控制单元；其中，所述多个拍摄区域包括第一拍摄区域和第二拍摄区域，第二拍摄区域接着第一拍摄区域被曝光，以及控制单元在对第一拍摄区域进行曝光结束之后直到第二拍摄区域的曝光开始的时段中根据基板台的驱动信息来驱动基板台，并且当在该时段中不满足用于对第二拍摄区域进行曝光的曝光条件时，控制单元根据所述驱动信息来再次驱动基板台并然后对第二拍摄区域进行曝光。

主权项

一种对基板上的多个拍摄区域中的每一个进行曝光的曝光装置，包括：基板台，被配置为能够在保持所述基板的同时移动；以及控制单元，被配置为在控制基板台的驱动的同时控制多个拍摄区域的曝光；其中，所述多个拍摄区域包括第一拍摄区域和第二拍摄区域，所述第二拍摄区域接着所述第一拍摄区域被曝光，以及其中所述控制单元：执行用于从对第一拍摄区域进行曝光的结束位置到对第二拍摄区域进行曝光的开始位置对基板台进行驱动的第一驱动，当用于对第二拍摄区域进行曝光的曝光条件在第一驱动中不满足时不对第二拍摄区域进行曝光，以及在第一驱动之后，根据第一驱动中基板台的加速度信息执行用于从所述结束位置到所述开始位置对基板台进行驱动的第二驱动，并然后在满足曝光条件的状态下对第二拍摄区域执行曝光。