| 发明名称 | 鎓盐化合物、由它衍生出的酸增强剂及含有它的抗蚀剂组合物 | ||
| 摘要 | 提供一种作为用于形成酸增强剂的单体而有用的新型鎓盐化合物、含有由它衍生出的重复单元的酸增强剂及含有它的抗蚀剂组合物。所述鎓盐化合物具有下述化学式1的结构，而含有由它衍生出的重复单元的酸增强剂，在制备抗蚀剂时作为添加剂使用时，在相同的感光度表现出高的酸产量，从而提高抗蚀剂感光度，形成具有优异的感光度和分辨率的微细抗蚀图案，化学式1<img file="DDA0000389895320000011.GIF" wi="432" he="395" />在所述式中，各取代基与说明书中所定义的相同。 | ||
| 申请公布号 | CN103772252B | 申请公布日期 | 2017.01.11 |
| 申请号 | CN201310454735.7 | 申请日期 | 2013.09.29 |
| 申请人 | 锦湖石油化学株式会社 | 发明人 | 朱炫相;金真湖;韩俊熙;柳京辰 |
| 分类号 | C07C381/12(2006.01)I;C07C303/32(2006.01)I;C07C309/12(2006.01)I;C07D333/46(2006.01)I;G03F7/00(2006.01)I;C08F220/28(2006.01)I;C08F220/32(2006.01)I;C08F220/38(2006.01)I;G03F7/004(2006.01)I | 主分类号 | C07C381/12(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人 | 姜虎;陈英俊 |
| 主权项 | 一种鎓盐化合物，具有下述化学式1的结构，化学式1<img file="FDA0001073719000000011.GIF" wi="528" he="503" />在所述化学式中，R<sub>1</sub>为氢原子或者碳原子数为1至8的烷基，A为具有下述化学式2的结构的有机阳离子，化学式2<img file="FDA0001073719000000012.GIF" wi="399" he="622" /> | ||
| 地址 | 韩国首尔 | ||