| 发明名称 | 化学气相沉积涂层、制品和方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种化学气相沉积涂层、化学气相沉积制品和化学气相沉积方法。所述涂层、制品和方法包括二甲基硅烷的热分解，以实现期望的表面性质。 | ||
| 申请公布号 | CN106319477A | 申请公布日期 | 2017.01.11 |
| 申请号 | CN201610697860.4 | 申请日期 | 2010.10.26 |
| 申请人 | 西尔科特克公司 | 发明人 | D·A·史密斯;J·B·马特泽拉;P·H·西尔维斯;G·A·贝伦 |
| 分类号 | C23C16/32(2006.01)I;C23C16/56(2006.01)I | 主分类号 | C23C16/32(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京北翔知识产权代理有限公司 11285 | 代理人 | 周志明;钟守期 |
| 主权项 | 一种热化学气相沉积方法，包括：在反应室内分解二甲基硅烷从而将二甲基硅烷的分子片段沉积在反应室内的所有暴露的表面上；其中所述分解在在1.0p.s.i.a.至100p.s.i.a.的压力下和在300℃至600℃的温度下持续30分钟至24小时的时间。 | ||
| 地址 | 美国宾夕法尼亚州 | ||