| 摘要 |
스퍼터링 방식 또는 증발 방식을 사용하고 나노구조 형성용 소스와 박막 형성용 소스를 교대로 또는 동시에 적용하여 기판상에 원하는 크기의 나노 입자를 형성하면서 접착력을 강화할 수 있는 나노구조 형성장치에 관한 것으로, 기판이 마련된 프로세스 챔버, 상기 프로세스 챔버 내에 마련되고 상기 기판을 유지하는 기판 홀더, 상기 프로세스 챔버 내에 마련된 하나 이상의 나노구조 형성용 소스 및 상기 프로세스 챔버 내에 마련된 박막 형성용 소스를 포함하는 구성을 마련하여, 나노구조의 접착력을 향상시킬 수 있다. |
