晶圆载台

摘要

本发明揭示了一种晶圆载台，包括：承载座，承载座的一面作为支撑面将晶圆托起至水平，支撑面仅支撑晶圆的一部分；限位柱，分布在同一圆周上，圆周的圆心为支撑面的中心，半径为晶圆的半径，且限位柱位于同一水平面上；传感器，在竖直方向上传感器处于支撑面的下方，在水平方向上传感器不超出圆周，传感器向上发射信号，并接收反射回来的信号，信号不被承载座或限位柱所阻挡。本发明所揭示的晶圆载台，能够识别晶圆在晶圆载台上所处的状态，为操作者提供警示，从而避免了晶圆被压碎。

主权项

一种晶圆载台，其特征在于，包括：承载座，承载座的一面作为支撑面将晶圆托起至水平，所述支撑面仅支撑晶圆的一部分；限位柱，分布在同一圆周上，所述圆周的圆心为所述支撑面的中心，半径为晶圆的半径，且所述限位柱位于同一水平面上；传感器，在竖直方向上所述传感器处于所述支撑面的下方，在水平方向上所述传感器不超出所述圆周，所述传感器向上发射信号，并接收反射回来的信号，所述信号不被所述承载座或限位柱所阻挡。