| 发明名称 | 薄膜晶体管及其制作方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种薄膜晶体管及其制作方法，通过在扫描线与栅极上对应于扫描线与数据线交叉处的第一重叠区域、栅极与源极之间的第二重叠区域、以及栅极与漏极之间的第三重叠区域中的至少一处设置凹槽，使得该至少一处重叠区域的寄生电容的极板间距增大，从而降低寄生电容，增加器件稳定性，避免显示时出现图像粘滞、及颜色偏移等异常现象。 | ||
| 申请公布号 | CN106328715A | 申请公布日期 | 2017.01.11 |
| 申请号 | CN201610681586.1 | 申请日期 | 2016.08.17 |
| 申请人 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 发明人 | 林钦遵 |
| 分类号 | H01L29/786(2006.01)I;H01L29/41(2006.01)I;H01L21/336(2006.01)I | 主分类号 | H01L29/786(2006.01)I |
| 代理机构 | 深圳市德力知识产权代理事务所 44265 | 代理人 | 林才桂 |
| 主权项 | 一种薄膜晶体管，其特征在于，包括：衬底基板(10)、设于所述衬底基板(10)上的扫描线(11)、设于所述衬底基板(10)上的栅极(12)、设于所述扫描线(11)、栅极(12)及衬底基板(10)上的栅极绝缘层(20)、设于所述栅极绝缘层(20)上且对应于栅极(12)的有源层(30)、设于所述有源层(30)及栅极绝缘层(20)上的数据线(41)、以及设于所述有源层(30)及栅极绝缘层(20)上的源极(42)与漏极(43)；所述栅极(12)连接至所述扫描线(11)一侧；所述源极(42)连接至所述数据线(41)一侧，所述漏极(43)与所述源极(42)间隔设置；所述源极(42)、及漏极(43)分别与所述有源层(30)的两侧相接触；所述扫描线(11)与数据线(41)相交叉，交叉处形成第一重叠区域(100)；所述栅极(12)与位于所述有源层(30)一侧的源极(42)之间形成第二重叠区域(200)，同时所述栅极(12)与位于所述有源层(30)另一侧的漏极(43)之间形成第三重叠区域(300)；所述扫描线(11)与栅极(12)上对应于第一、第二、及第三重叠区域(100、200、300)中的至少一处设有凹槽(50)。 | ||
| 地址 | 518132 广东省深圳市光明新区塘明大道9—2号 | ||