一种真空镀膜机的自动调位闸阀

摘要

本实用新型涉及镀膜机技术领域，具体地说是一种真空镀膜机的自动调位闸阀，其特征在于：包括用于安装在真空室的冷冻线圈与真空室的腔体之间的旋转闸装置，所述的旋转闸装置包括闸板、旋转气缸、旋柱、旋臂、旋臂连接柱；所述的旋转气缸的输出轴的底端连接旋柱的顶端，旋柱上还垂直固定旋臂的外端，旋臂的其余部分采用旋臂连接柱连接于闸板的一侧面；所述的旋臂与闸板之间的旋臂连接柱上套设有弹簧；所述的旋柱还轴接于固定装置的轴接孔内。本实用新型同现有技术相比，在加硅油等污染多的工序时，能保持主阀内部和冷冻线圈的洁净，从而延长了密封寿命；主阀内部没有污染，因此不需要打磨、清扫等艰苦的保养工作。

主权项

一种真空镀膜机的自动调位闸阀，其特征在于：包括用于安装在真空室的冷冻线圈与真空室的腔体之间的旋转闸装置，所述的旋转闸装置包括闸板(6)、旋转气缸(1)、旋柱(2)、旋臂(3)、旋臂连接柱(5)；所述的旋转气缸(1)的输出轴的底端连接旋柱(2)的顶端，旋柱(2)上还垂直固定旋臂(3)的外端，旋臂(3)的其余部分采用旋臂连接柱(5)连接于闸板(6)的一侧面；所述的旋臂(3)与闸板(6)之间的旋臂连接柱(5)上套设有弹簧(5‑1)；所述的旋柱(2)还轴接于固定装置的轴接孔内，所述的固定装置用于将旋转闸装置固定在真空镀膜机的真空室腔体内。