| 摘要 |
본 개시물에 따라서, 기판 상에 재료를 스퍼터링하기 위한 회전가능 타겟(10)을 갖는 회전가능 캐소드용 실딩 디바이스(20), 및 증착 장치에 암공간 영역을 실딩하기 위한 방법이 제공된다. 실딩 디바이스(20)는 회전가능 타겟(10)의 일부를 커버하도록 구성되는 실드(21), 및 실드(21)를 회전가능 타겟(10)에 연결하기 위한 픽스처(80)를 포함한다. 픽스처는 실드가 회전가능 타겟의 축 방향으로 회전가능 타겟의 중심으로부터 본질적으로 멀어지게 확장되도록 하기 위해 실드와 맞물리도록(engage with) 구성된다. |
