X射线管真空度的检测方法

摘要

本发明公开一种X射线管真空度的检测方法，包括以下步骤：步骤1，将电流表与钛泵串联后与电源连接，该钛泵的排气管与待检测的X射线管管内真空空间连通；步骤2，将所述电流表的档位调节为μA档，将所述电源的输出电压调节至2‑4kV，读取所述电流表的读数I₀，得到所述X射线管的本底电流I₀；以及步骤3，在所述钛泵两侧标记位置分别设置磁片，将所述电流表的档位调节为mA档，将所述电源的输出电压调节至3.8‑4.2kV，读取所述电流表的读数I_i，若I_i‑I₀＝0时，则P≤3×10^‑5Pa；P为X射线管的真空度，单位为Pa；I_i为离子电流，单位为μA。它通过测定其离子电流就能判断该X射线管的真空度是否符合要求，以对X射线管的生产工艺、质量进行控制。

主权项

一种X射线管真空度的检测方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1，将电流表与钛泵串联后与电源连接，该钛泵的排气管与待检测的X射线管管内真空空间连通；步骤2，将所述电流表的档位调节为μA档，将所述电源的输出电压调节至2‑4kV，读取所述电流表的读数I₀，得到所述X射线管的本底电流I₀；以及步骤3，在所述钛泵两侧标记位置分别设置磁片，将所述电流表的档位调节为mA档，将所述电源的输出电压调节至3.8‑4.2kV，读取所述电流表的读数I_i，若I_i‑I₀＝0时，则P≤3×10^‑5Pa；其中，P为X射线管的真空度，单位为Pa；I_i为离子电流，单位为μA。