一种7.2吋纳米级蓝宝石扫描仪窗口片加工方法

摘要

本发明提供的一种7.2吋纳米级蓝宝石扫描仪窗口片加工方法，包括切块、切片、精雕、研磨、抛光与清洗六大步骤，步骤简单，制备方便，本发明利用多线开方机切块、单线切割机去除头尾料、精雕倒角、双面研磨与抛光，避免对蓝宝石薄皮表面产生磨损，有效的提高加工效率，提升晶片外观质量，不仅加工效率、晶片质量有显著提升，也大大降低了成本，最后使用中性环保清洗液进行清洗，更加环保、晶片洁净度好、安全性高，同时成本较低，及安全又环保。

主权项

一种7.2吋纳米级蓝宝石扫描仪窗口片加工方法，其特征为，加工方法如下：（1）首先将蓝宝石晶锭置于多线开方机中，切割成指定大小的蓝宝石晶块，随后将得到的蓝宝石晶块置于单线切割机中，去除头尾料，再使用平面磨对块料状进行精细加工，得到蓝宝石晶片：（2）将蓝宝石晶片利用高速切割机，切割成蓝宝石薄片，加工时间为16‑18H，Warp控制在≤20um以内；（3）将切割成的蓝宝石薄片利用高精度精雕机进行加工，其精度控制在0.01‑0.03mm ，工作时间为20‑30min；（4）将精雕后的蓝宝石薄片，采用双面研磨的方法，一面利用砂碳化硼进行研磨，另一面利用金刚石进行研磨，研磨时间为30‑40min，研磨后表面Ra保持在10‑20nm；（5）对研磨后的蓝宝石薄片进行CMP抛光处理，其表面Ra保持在0.3‑0.5nm，TTV≤10um；（6）利用中性环保清洗液对抛光后的蓝宝石薄片进行清洗，清洗时间为20‑60min，每分钟上下抛动20‑60次。