发明名称 CIGS太阳能电池薄膜生产线
摘要 本发明公开了CIGS太阳能电池薄膜生产线,包括多个镀膜子线,各子线依次独立地对薄膜进行立式镀膜,每一子线沿薄膜展开方向至少包括放卷室、镀膜室和收卷室,主驱动辊设于放卷室和收卷室内,多个传动辊设于子线各腔室内,张力检测辊、张力调节辊设于子线至少一个腔室内;其中:张力检测辊与张力调节辊为相邻设置的,张力检测辊用于实时监测薄膜张力,张力调节辊根据张力检测辊的反馈调节自身转速以调节薄膜于各腔室内传动速度,张力调节辊为非传动辊,薄膜经过张力检测辊与进过张力调节辊的展开轨迹为非直线轨迹。本发明提供的CIGS太阳能电池薄膜生产线元素扩散路径短,无中间产物,无元素蒸发,薄膜效率高,特别适合大面积规模工业化生产。
申请公布号 CN106319473A 申请公布日期 2017.01.11
申请号 CN201610786190.3 申请日期 2016.08.31
申请人 湘潭宏大真空技术股份有限公司 发明人 黄乐;祝海生;黄国兴;孙桂红;黄夏
分类号 C23C14/56(2006.01)I;C23C14/54(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I;C23C14/24(2006.01)I;C23C14/20(2006.01)I;C23C14/08(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I 主分类号 C23C14/56(2006.01)I
代理机构 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 代理人 熊娴;冯子玲
主权项 CIGS太阳能电池薄膜生产线,其特征在于:包括多个镀膜子线,各子线依次独立地对薄膜进行立式镀膜,每一子线沿薄膜展开方向至少包括放卷室、镀膜室和收卷室,主驱动辊设于放卷室和收卷室内,多个传动辊设于子线各腔室内,张力检测辊、张力调节辊设于子线至少一个腔室内;其中:张力检测辊与张力调节辊为相邻设置的,张力检测辊用于实时监测薄膜张力,张力调节辊根据张力检测辊的反馈调节自身转速以调节薄膜于各腔室内传动速度,张力调节辊为非传动辊,薄膜经过张力检测辊与进过张力调节辊的展开轨迹为非直线轨迹。
地址 411100 湖南省湘潭市九华工业园盛世路8号