集成电路的光学纳米探测

摘要

用于在超出光学衍射极限的分辨率处进行电气和光学纳米探测的装置。导航显微镜被配置为导航至感兴趣的区域。探针空间定位器支承叉，并且振荡压电管附接到所述叉的自由端，并提供指示到样本的距离的输出。具有形成于其端部的近场转换器的单模光纤附接到振荡压电管，使得近场转换器在振荡压电管下方向着样本延伸。光电检测器被设置为检测从样本采集的光子。近场转换器可以形成为形成于单模光纤的端部处的锥形部分、形成于锥形部分的尖部处的金属涂层、以及形成于金属涂层中以便穿过金属涂层暴露锥形部分的尖部的孔。

主权项

一种集成了近场转换器的探测器，包括：探针空间定位器；附接到所述定位器的叉；附接到所述叉的自由端的振荡压电管；附接到所述振荡压电管的电导线；光纤，具有形成于其端部处的近场转换器，所述光纤附接到所述振荡压电管，使得所述近场转换器在所述振荡压电管下面延伸；其中，所述近场转换器包括形成在所述光纤的所述端部处的锥形部分、形成在所述锥形部分的尖部处的金属涂层、以及形成在所述金属涂层中以便穿过所述金属涂层暴露所述锥形部分的所述尖部的孔。