发明名称 |
一种自聚焦激光加工装置 |
摘要 |
本发明为一种自聚焦激光加工装置,夹持机构在透镜和工作台之间固定一个盛放非线性介质的容器。激光束经透镜聚焦于非线性介质的表面,透镜聚焦后的光束进入非线性介质其中传递产生自聚焦,经透镜和非线性介质的两次聚焦,离开容器的激光束直径极小,直线传播到达工件表面。容器内非线性介质的深度,即自聚焦距离L与激光束的能量及所采用的非线性介质的折射率有关。还配有水射流辅助装置,工件表面激光聚焦点和射流喷射点中心重合。在工件表面水射流的冲击带走激光去除的残渣和热量。透镜聚焦与自聚焦相结合,减少激光束直径近一半,提高激光束能量密度。自聚焦后激光准直传递,发散角小,有利纵深刻蚀,增加加工的深度,保证刻蚀精度效率。 |
申请公布号 |
CN106312302A |
申请公布日期 |
2017.01.11 |
申请号 |
CN201610951930.4 |
申请日期 |
2016.10.27 |
申请人 |
桂林电子科技大学 |
发明人 |
龙芋宏;鲍家定;唐文斌;周嘉;刘清原;刘鑫;毛建冬 |
分类号 |
B23K26/046(2014.01)I;B23K26/06(2014.01)I;B23K26/362(2014.01)I;B23K26/146(2014.01)I |
主分类号 |
B23K26/046(2014.01)I |
代理机构 |
桂林市持衡专利商标事务所有限公司 45107 |
代理人 |
欧阳波 |
主权项 |
一种自聚焦激光加工装置,包括激光器、透镜(1)和工作台,工件固定于工作台表面,激光器的激光束经透镜聚焦,其特征在于:夹持机构(3)在所述透镜(1)和工作台之间固定一个容器(2),其内盛放非线性介质;激光束经透镜(1)聚焦于非线性介质的表面,经透镜(1)聚焦后的光束进入非线性介质,光在该非线性介质中传递产生自聚焦,离开容器(2)的激光束直线传播到达工件表面。 |
地址 |
541004 广西壮族自治区桂林市七星区金鸡路1号 |