差动隔振式MEMS矢量水听器

摘要

本发明为一种具有差动效应的MEMS矢量水听器敏感结构，解决了现有的弹性隔振结构的声散射问题、只能针对特定频带的噪声进行降幅处理以及结构稳定性、可靠性不足等问题。该敏感结构包括硅基座框架、悬臂梁、中心连接体、上下对称粘结的微型柱状体，形悬臂梁上设置有八个应变压敏电阻。工作时，平台的振动以惯性力的形式作用于微型柱状体，上下对称的微型柱状体产生等值、反向的力矩，声信号通过封装结构产生差模信号并作用于上下微型柱状体，上下对称的微型柱状体产生差模力矩。通过该结构的共模抑制，差模输出的特性来达到减振的效果。本发明结构简单、可靠，减振效果明显，不受振动来源、振动频带的影响。

主权项

一种差动隔振式MEMS矢量水听器，其特征在于：包括硅基座框架（1）、悬臂梁（2）以及通过悬臂梁（2）支悬于硅基座框架（1）中心位置的中心连接体（3），所述硅基座框架（1）为正方形框架结构，中心连接体（3）呈正方形结构；中心连接体（3）的四个边分别通过一根悬臂梁（2）与硅基座框架（1）的四个边框固定；每根悬臂梁（2）的根部和端部分别集成有一个压敏电阻（6），四根悬臂梁（2）上的八个压敏电阻（6）阻值都相等；其中，位于X方向的两根悬臂梁（2）上的四个压敏电阻（6）组成一个惠斯通电桥，位于Y方向的两根悬臂梁（2）上的四个压敏电阻（6）组成一个惠斯通电桥；中心连接体（3）的上表面垂直粘结有上微型柱状体（4），中心连接体（3）的下表面垂直粘结有下微型柱状体（5），上、下微型柱状体（4、5）的材料属性以及尺寸完全相同且以中心连接体（3）对称布置，上、下微型柱状体（4、5）的密度与水的密度相同或接近。