上分立下环形的双电极分布式微陀螺仪及其制备方法

摘要

本发明提出了一种上分立下环形的双电极分布式微陀螺仪及其制备方法，包括：单晶硅基底、中心固定支撑柱、微型谐振子、上电极、下电极、玻璃基底。所述上电极为多个，分布均匀在微型谐振子的上侧，构成均匀分布式上电极，所述下电极为一个，设置在微型谐振子的下侧且该下电极呈环形一体式，构成一环形一体式下电极；本发明结合MEMS体硅加工工艺和表面硅加工工艺进行制作；本发明可提供不同的驱动、检测方式及不同的工作模式，可工作在需要复杂控制的系统中；本发明可利用下电极和上电极分别进行驱动和检测，减小驱动电极和检测电极之间的寄生电容，提高检测精度。

主权项

一种上分立下环形的双电极分布式微陀螺仪，其特征在于，包括：单晶硅基底、中心固定支撑柱、微型谐振子、上电极、下电极和玻璃基底；其中：所述上电极为多个，多个上电极分布均匀在微型谐振子的上侧，构成均匀分布式上电极，同时所述上电极设置于所述单晶硅基底的表面或者玻璃基底的表面；所述下电极为一个，设置在微型谐振子的下侧且该下电极呈环形一体式，构成一环形一体式下电极；同时所述下电极设置于所述单晶硅基底的表面或者玻璃基底的表面；所述中心固定支撑柱的一端与所述单晶硅基底连接，所述中心固定支撑柱的另一端与所述微型谐振子连接；所述单晶硅基底与所述玻璃基底键合；所述微型谐振子是所述微陀螺仪的振动体，所述上电极和所述下电极用于所述微陀螺仪的驱动、检测及控制。