发明名称 一种石英舟
摘要 本实用新型公开了一种石英舟,包括两个支座、上连接杆和下连接杆,两个支座通过上连接杆和下连接杆连接成一个整体,上连接杆连接在支座的上半部,下连接杆连接在支座的下半部,上连接杆和下连接杆上均设置有多个卡槽,所述卡槽为矩形卡槽,矩形卡槽的上端内侧设置有过渡圆角。本实用新型能够快速放入硅片,定位硅片,且不会造成硅片结构的破坏,不影响硅片的质量。
申请公布号 CN205881884U 申请公布日期 2017.01.11
申请号 CN201620010619.5 申请日期 2016.01.07
申请人 湖州奥博石英科技有限公司 发明人 沈根法;宋伟宏
分类号 H01L21/673(2006.01)I;H01L21/68(2006.01)I 主分类号 H01L21/673(2006.01)I
代理机构 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 代理人 汤东凤
主权项 一种石英舟,包括两个支座、上连接杆和下连接杆,两个支座通过上连接杆和下连接杆连接成一个整体,上连接杆连接在支座的上半部,下连接杆连接在支座的下半部,上连接杆和下连接杆上均设置有多个卡槽,其特征在于:所述卡槽为矩形卡槽,矩形卡槽的上端内侧设置有过渡圆角。
地址 313000 浙江省湖州市吴兴区八里店镇吴兴科技创业园鑫盛7号