发明名称 |
一种石英舟 |
摘要 |
本实用新型公开了一种石英舟,包括两个支座、上连接杆和下连接杆,两个支座通过上连接杆和下连接杆连接成一个整体,上连接杆连接在支座的上半部,下连接杆连接在支座的下半部,上连接杆和下连接杆上均设置有多个卡槽,所述卡槽为矩形卡槽,矩形卡槽的上端内侧设置有过渡圆角。本实用新型能够快速放入硅片,定位硅片,且不会造成硅片结构的破坏,不影响硅片的质量。 |
申请公布号 |
CN205881884U |
申请公布日期 |
2017.01.11 |
申请号 |
CN201620010619.5 |
申请日期 |
2016.01.07 |
申请人 |
湖州奥博石英科技有限公司 |
发明人 |
沈根法;宋伟宏 |
分类号 |
H01L21/673(2006.01)I;H01L21/68(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/673(2006.01)I |
代理机构 |
北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 |
代理人 |
汤东凤 |
主权项 |
一种石英舟,包括两个支座、上连接杆和下连接杆,两个支座通过上连接杆和下连接杆连接成一个整体,上连接杆连接在支座的上半部,下连接杆连接在支座的下半部,上连接杆和下连接杆上均设置有多个卡槽,其特征在于:所述卡槽为矩形卡槽,矩形卡槽的上端内侧设置有过渡圆角。 |
地址 |
313000 浙江省湖州市吴兴区八里店镇吴兴科技创业园鑫盛7号 |