摘要 |
ドリフト層(20)はワイドバンドギャップ半導体から作られている。第1ウェル領域(30)はドリフト層(20)上に設けられている。ソース領域(40)は、第1ウェル領域(30)の各々の上に設けられている。ゲート絶縁膜(50)は第1ウェル領域(30)上に設けられている。第1電極(80)は、ソース領域(40)に接しており、第1ウェル領域(30)の間においてドリフト層(20)へユニポーラ通電が可能なダイオード特性を有する。第2ウェル領域(31)はドリフト層(20)上に設けられている。第2電極(81)は、第2ウェル領域(31)に接しており、ゲート電極(82)および第1電極(80)から分離されている。 |