| 摘要 |
레티클 상에서 결함들을 검출하기 위한 시스템들 및 방법들이 제공된다. 실시예들은 레티클 패턴의 미리 결정된 세그먼트들과, 대응하는 근접장 데이터의 쌍들을 포함한 데이터 구조를 생성하고/생성하거나 이용하는 것을 포함한다. 레티클 검사 시스템의 검출기에 의해 생성된 레티클의 실제 이미지(들)에 기초하여 미리 결정된 세그먼트들에 대한 근접장 데이터가 회귀법에 의해 결정될 수 있다. 그 후, 레티클을 검사하는 것은, 레티클 상의 검사 영역 내에 포함된 패턴의 두 개 이상의 세그먼트들을 미리 결정된 세그먼트들과 개별적으로 비교하는 것과, 가장 유사한 미리 결정된 세그먼트에 기초하여 세그먼트들 중 적어도 하나의 세그먼트에 근접장 데이터를 할당하는 것을 포함할 수 있다. 그 후, 할당된 근접장 데이터는 검출기에 의해 레티클에 대해 형성될 이미지를 시뮬레이팅하는 데에 이용될 수 있으며, 이 이미지는 결함 검출에 대해 검출기에 의해 생성된 실제 이미지와 비교될 수 있다. |
